扫描电镜SEM是TESCAN第四代产品中的一员，配置的无物镜光阑镜筒，实现超大视野、高分辨及大景深成像，并且便于优化电子束参数，实现优化成像观察和分析应用。
在TESCAN的Essence™操作软件中，结合了扫描电子显微镜成像和实时元素分析。
这种组合大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程，提供了质量控制、失效分析和实验室常规材料检验的有效得分析解决方案。
配置新颖的Essence™三维演示功能，保证了样品运动时样品室内探测器的安全。
安全便捷的SingleVac™模式
SingleVac™模式主要用于直接观察未进行喷镀的不导电样品或是对电子束敏感样品，这个功能已经成为了TESCANVEGA扫描电镜SEM的标配功能。
不需要安装压差光阑，一键就可以切换高低真空模式，操作简易且不存在误操作的可能性。
SingleVac™也可以搭配可选的UniVac™模式，对于有更多需求的使用者而言，可以对样品室低真空进行持续调整，最高可达500Pa,用于样品进行成像和分析。
VEGA还能够提供客户一款真空缓冲器(VacuumBuffer),它可以显著减少旋转泵的运行时间，实现生态效益和经济效益。
•SE分辨率：3nm@30kV
•8nm@3kV
•超大观察视野，最大可达50mm
•强大的低倍性能，为大样品的观察和定位提供了便利
•*集成的Essence™EDS功能，可以快速，轻松地从成像切换到元素分析操作
•不需安装压差光阑，一键实现高真空到SingleVac™低真空模式的切换，并实现低真空模式下的大视野
•可选配TESCAN一体化EBIC,CL等诸多探测器和第三方分析扩展附件
https://www.chem17.com/st543966/list_2393196.html
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